CMT-SR2000N/SR2000N-PV là hệ thống đo tự động resistance và sheet resistance của màng mỏng sillicon. Hệ thống có thể hoạt động độc lập hoặc kết nối máy tính để điều khiển hoàn hảo hơn, thu thập và phân tích dữ liệu đa dạng với phần mềm độc quyền.
Tính năng:
- Hệ thống tự động đầy đủ 3 trục X, Y, Z
- Lựa chọn dải thủ công hoặc tự động
- Kích thước mẫu tới 200mm với SR2000N (SR2000N-PV là 156 x 156 mm)
- Phần mềm điều khiển qua máy tính
- Phân tích dữ liệu đa dạng: 2D, 3D, bản đồ dữ liệu, …
- Chế độ đo nhanh SEMI & ASTM
Cấu hình:
Hệ thống bao gồm các thành phần chính:
- Đầu dò 4 điểm JANDEL
- Cánh tay robot trục Z
- Mâm cặp cải tiến (trục X, Y)
- Bảng điều khiển trên máy
- Màn hình hiển thị LCD
- Cổng kết nối điều khiển từ xa
- Cổng đầu vào chân không
- Phần mềm
- Các phụ kiện tiêu chuẩn:
– Cáp nguồn
– Cáp dữ liệu
– Hướng dẫn sử dụng
Thông số kỹ thuật:
- Đo sheet resistance:
– Phương pháp đo: tiếp xúc bởi đầu đo 4 điểm
– Dải đo: 1 mohm/sq ∼ 2 Mohm/sq - Đo resistance:
– Phương pháp đo: tiếp xúc bởi đầu đo 4 điểm (nhập chiều dày)
– Dải đo: 10.0 μohm·cm ∼ 200.0 kohm·cm (VLSI standard wafer) - Nguồn dòng:
– 10nA tới 100mA
– DVM 0V tới 2,000mV - Độ chính xác đo:
– ±0.5% (Precision resistor) - Độ lặp lại:
– ±0.15% (Precision resistor) - Đầu đo 4 điểm JANDEL (Anh Quốc):
– Khoảng cách giữa các Pin: 20 mils ∼ 50 mils với bước tăng 5mil
– Tải trọng Pin: 10 gram/pin ∼ 250 gram/pin
– Bán kính Pin: 12.5 micron ~ 500 micron
– Dung sai: ± 0.01 mm
– Kim: Solid Tungsten Carbide φ0.40 mm - Phần mềm:
– Phần mềm tương thích hệ điều hành Windown
– Tạo điều kiện đo: Wafer type, measure point interval, …
– Tải và lưu trữ dữ liệu: data, wafer type, measure point, …
– Phân tích dữ liệu: 2D, 3D, bản đồ dữ liệu, …
– Bật/tắt: điều khiển từ xa, chân không
– In kết quả: bản đồ và dữ liệu
Mẫu đo:
- Loại tròn (wafer): max 200mm (SR2000N-PV: 156X156mm)
Thời gian đo:
- Xấp xỉ: 2 ± 1 sec/point
Phần mềm:
- Hệ điều hành tương thích: Microsoft Windows XP SP3 / 7 Ver.
- Cổng giao tiếp: USB
- Quản lý dữ liệu đo:
– Lưu, tải và xuất dữ liệu
– NFS qua mạng LAN - Chế độ đo đa dạng:
– Đo theo yêu cầu : điểm đo theo yêu cầu người sử dụng.
– Đo tiêu chuẩn: ASTM & SEMI mode.
– Đo mô hình: 49, 81, 121, 225 điểm, …
– Đo bước: khoảng cách giữa các điểm xác định bởi người sử dụng.
– Đo thủ công: tọa độ điểm đo được nhập vào bằng tay - Tính năng phân tích dữ liệu: 2D, 3D, bản đồ dữ liệu, thống kê
- Quản lý người sử dụng: Đăng ký người dùng, phân cấp bảo mật người dùng, đăng nhập, …
Hình 1: Phân tích dữ liệu dạng 2D & 3D cho SR2000N
Hình 2: Phân tích dữ liệu dạng 2D & 3D cho SR2000N-PV
Kích thước:
- SR2000N : 254mm(W)×562mm(D)×250mm(H)
- SR2000N-PV : 270mm(W)×610mm(D)×280mm(H)
Yêu cầu nguồn điện:
- Nguồn điện 1 pha:
– Điện áp: AC 220V or 110V ± 10%
– Công suất điện: 40 W, 500 mA
– Tần số: 50/60 Hz
Môi trường hoạt động:
- Dải nhiệt độ: 23°± 1°C
- Độ ẩm tương đối: 30 % ∼ 70 %
- Tránh đặt hệ thống gần nguồn phát sóng RF, nguồn chấn động hoặc nguồn khí
- Tránh sự thay đổi lớn về nhiệt độ
