CMT-SR3000 Series là hệ thống đo tự động resistance và sheet resistance cho mẫu hình chữ nhật như LCD, ITO, kính, tấm film. Hệ thống được thiết kế với tính năng tự động hóa cao với khả năng tải mẫu tự động. Hệ thống được thiết kế để dễ dàng sử dụng với phần mềm độc quyền cài trên máy tính cho phép để điều khiển, thu thập và phân tích dữ liệu đa dạng.
Tính năng:
- Hệ thống tự động đầy đủ 3 trục X, Y, Z
- Lựa chọn dải tự động
- Phần mềm điều khiển qua máy tính
- Phân tích dữ liệu đa dạng: 2D, 3D, bản đồ dữ liệu, …
- Định vị tâm kính
- Vị trí dỡ kính
Cấu hình:
Hệ thống bao gồm các thành phần chính:
- Đầu dò 4 điểm JANDEL
- Cánh tay robot dạng cầu 3 trục X, Y, Z.
- Bàn mẫu cho tấm phẳng
- Màn hình LED cho tín hiệu xử lý
- Cổng kết nối điều khiển từ xa
- Công tắc nguồn
- Phần mềm
- Các phụ kiện tiêu chuẩn:
– Cáp nguồn
– Cáp dữ liệu
– Hướng dẫn sử dụng
Thông số kỹ thuật:
- Đo sheet resistance:
– Phương pháp đo: tiếp xúc bởi đầu đo 4 điểm
– Dải đo: 1 mohm/sq ∼ 2 Mohm/sq - Đo resistance:
– Phương pháp đo: tiếp xúc bởi đầu đo 4 điểm (nhập chiều dày)
– Dải đo: 10.0 μohm·cm ∼ 200.0 kohm·cm (VLSI standard wafer) - Nguồn dòng:
– 10nA tới 100mA
– DVM 0V tới 2,000mV - Độ chính xác đo:
– ±0.5% (Precision resistor) - Độ lặp lại:
– ±0.15% (Precision resistor) - Đầu đo 4 điểm JANDEL (Anh Quốc):
– Khoảng cách giữa các Pin: 20 mils ∼ 50 mils với bước tăng 5mil
– Tải trọng Pin: 10 gram/pin ∼ 250 gram/pin
– Bán kính Pin: 12.5 micron ~ 500 micron
– Dung sai: ± 0.01 mm
– Kim: Solid Tungsten Carbide φ0.40 mm - Phần mềm:
– Phần mềm tương thích hệ điều hành Windown
– Tạo điều kiện đo: kích thước mẫu, khoảng cách giữa điểm đo, chế độ đo, …
– Tải và lưu trữ dữ liệu: data, wafer type, measure point, …
– Phân tích dữ liệu: 2D, 3D, bản đồ dữ liệu, …
– Bật/tắt: điều khiển từ xa, chân không
– In kết quả: bản đồ và dữ liệu
Mẫu đo:
- Mẫu phẳng hoặc hình chữ nhật:
– SR3000S : Max. 500 x 500 mm.
– SR3000M : Max. 620 x 720 mm.
– SR3000L : Max. 1100 x 1300 mm.
– SR3000C : Customized size.
– SR3000CA : Customized size
Thời gian đo:
- Xấp xỉ: 2 ± 1 sec/point
Phần mềm:
- Hệ điều hành tương thích: Microsoft Windows XP SP3 / 7 Ver.
- Cổng giao tiếp: USB
- Quản lý dữ liệu đo:
– Lưu, tải và xuất dữ liệu
– NFS qua mạng LAN - Chế độ đo đa dạng:
– Đo theo yêu cầu : điểm đo theo yêu cầu người sử dụng.
– Đo tiêu chuẩn: 9, 13, 25 điểm
– Đo bước: khoảng cách giữa các điểm xác định bởi người sử dụng.
– Đo thủ công: tọa độ điểm đo được nhập vào bằng tay - Tính năng phân tích dữ liệu: 2D, 3D, bản đồ dữ liệu, thống kê
- Quản lý người sử dụng: Đăng ký người dùng, phân cấp bảo mật người dùng, đăng nhập, …
Hình 1: Phân tích dữ liệu dạng 2D & 3D
Kích thước:
- SR3000S (Max. 500 x 500mm) : 970mm(W) x 1200mm(D) x 390mm(H)
- SR3000M (Max. 620 x 720mm) : 970mm(W) x 1200mm(D) x 390mm(H)
- SR3000L (Max. 1100 x 1300mm) : 1500mm(W) x 1800mm(D) x 390mm(H)
- SR3000C : Customized model for special sample size
Ex) Max 680 x 880mm, etc. - SR3000CA : Customized model for Automatic Cassette Loading and Unloading.
Yêu cầu khác:
- Nguồn điện 1 pha:
– Điện áp: AC 110V or 220V ± 10%
– Công suất điện: 40 W, 500 mA
– Tần số: 50 Hz - Yêu cầu khí:
– Một đường khí: 1 MPa (kgf/cm2) - Bàn đặt hệ thống
Môi trường hoạt động:
- Dải nhiệt độ: 23°± 1°C
- Độ ẩm tương đối: 30 % ∼ 70 %
- Tránh đặt hệ thống gần nguồn phát sóng RF, nguồn chấn động hoặc nguồn khí
- Tránh sự thay đổi lớn về nhiệt độ
