CMT-SR5000 là hệ thống đo độ chính xác cao resistance và sheet resistance cho mẫu hình sillicon wafer và solar cell. Hệ thống được thiết kế để dễ dàng sử dụng với phần mềm độc quyền cài trên máy tính cho phép để điều khiển, thu thập và phân tích dữ liệu đa dạng.
Tính năng:
- Hệ thống tự động đầy đủ 3 trục X, Y, Z
- Lựa chọn dải tự động & thủ công
- Kích thước mẫu tối đa: wafer/solar cell = 300/450mm
- Phần mềm điều khiển qua máy tính
- Phân tích dữ liệu đa dạng: 2D, 3D, bản đồ dữ liệu, …
- Chế độ đo nhanh SEMI & ASTM
Cấu hình:
Hệ thống bao gồm các thành phần chính:
- Đầu dò 4 điểm JANDEL
- Tự động tiếp xúc: trục Z
- Bàn mẫu xoay (trục X), cánh tay di chuyển thẳng (trục Y)
- Cảm biến nhiệt độ cho hệ số bù nhiệt độ (tùy chọn)
- Bàn mẫu cho tấm phẳng
- Cổng kết nối điều khiển từ xa
- Công tắc nguồn
- Cổng đầu vào chân không
- Phần mềm
- Các phụ kiện tiêu chuẩn:
– Cáp nguồn
– Cáp dữ liệu
– Hướng dẫn sử dụng
Thông số kỹ thuật:
- Đo sheet resistance:
– Phương pháp đo: tiếp xúc bởi đầu đo 4 điểm
– Dải đo: 1 mohm/sq ∼ 2 Mohm/sq - Đo resistance:
– Phương pháp đo: tiếp xúc bởi đầu đo 4 điểm (nhập chiều dày)
– Dải đo: 10.0 μohm·cm ∼ 200.0 kohm·cm (VLSI standard wafer) - Nguồn dòng:
– 10nA tới 100mA
– DVM 0V tới 2,000mV - Độ chính xác đo:
– ±0.5% (Precision resistor) - Độ lặp lại:
– ±0.15% (Precision resistor) - Đầu đo 4 điểm JANDEL (Anh Quốc):
– Khoảng cách giữa các Pin: 20 mils ∼ 50 mils với bước tăng 5mil
– Tải trọng Pin: 10 gram/pin ∼ 250 gram/pin
– Bán kính Pin: 12.5 micron ~ 500 micron
– Dung sai: ± 0.01 mm
– Kim: Solid Tungsten Carbide φ0.40 mm - Phần mềm:
– Phần mềm tương thích hệ điều hành Windown
– Tạo điều kiện đo: loại màng mỏng, khoảng cách giữa điểm đo, chế độ đo, …
– Tải và lưu trữ dữ liệu: data, wafer type, measure point, …
– Phân tích dữ liệu: 2D, 3D, bản đồ dữ liệu, …
– In kết quả: bản đồ và dữ liệu
Mẫu đo:
- Wafer : max 300 / 450mm
- Solar cell : max 210 X 210mm
Thời gian đo:
- Xấp xỉ: 2 ± 1 sec/point
Phần mềm:
- Hệ điều hành tương thích: Microsoft Windows XP SP3 / 7 Ver.
- Cổng giao tiếp: USB
- Quản lý dữ liệu đo:
– Lưu, tải và xuất dữ liệu
– NFS qua mạng LAN - Chế độ đo đa dạng:
– Đo theo yêu cầu : điểm đo theo yêu cầu người sử dụng.
– Đo tiêu chuẩn: ASTM & SEMI mode.
– Đo mô hình: 49, 81, 121, 225 điểm, …
– Đo bước: khoảng cách giữa các điểm xác định bởi người sử dụng.
– Đo thủ công: tọa độ điểm đo được nhập vào bằng tay - Tính năng phân tích dữ liệu: 2D, 3D, bản đồ dữ liệu, thống kê
- Quản lý người sử dụng: Đăng ký người dùng, phân cấp bảo mật người dùng, đăng nhập, …
Hình 1: Phân tích dữ liệu dạng 2D & 3D
Kích thước:
- 300mm system : 580mm(W) × 700mm(D) × 430mm(H)
- 450mm system : 610mm(W) × 770mm(D) × 430mm(H)
Yêu cầu khác:
- Nguồn điện 1 pha:
– Điện áp: AC 110V or 220V ± 10%
– Công suất điện: 40 W, 500 mA
– Tần số: 50 Hz - Khí nén khô (cho hệ thống 450mm):
– Kích thước: Ø6mm
– Áp suất: 5kg/cm² - Chân không quá trình:
– Kích thước: Ø4mm
– Áp suất: 500 Torr
Môi trường hoạt động:
- Dải nhiệt độ: 23°± 1°C
- Độ ẩm tương đối: 30 % ∼ 70 %
- Tránh đặt hệ thống gần nguồn phát sóng RF, nguồn chấn động hoặc nguồn khí
- Tránh sự thay đổi lớn về nhiệt độ
